白光干涉仪测量原理,优势及应用分析报告，白光干涉仪测量原理、优势及应用分析

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目前，白光干涉仪是三维检测领域中最精确的测量仪器之一。在相同的系统放大倍数下，检测精度和重复性高于共焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除白光干涉仪外，其他仪器都无法满足其测量精度要求。白光干涉仪的测量原理：

白光干涉仪是利用光学干涉原理研制的超精密表面轮廓测量仪。照明光束被半反射半透射分束器分成两束，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分束器形成一束光，成像系统在CCD相机的感光面上形成两个叠加的图像。由于两束光相互干涉，在CCD相机的感光面上会观察到明暗干涉条纹。

干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差。根据白色干涉条纹的亮度和干涉条纹出现的位置，解析出被测样品的相对高度。

白光干涉仪的测量应用：将测量单个刻线步骤作为一个反步骤。检查仪器的所有线路连接器准确插入相应插孔后，打开仪器电源开关，启动电脑，将单刻好的台阶工件放在载物台中间，手动调整载物台的大致位置对准白光干涉仪目镜的下部。

在电脑上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上向下设置目镜的最低点，然后微调透镜与被测单刻台阶表面的距离，直到电脑屏幕上可以看到两三条干涉条纹。此时，设置要扫描的距离。按下启动按钮，白光干涉仪可以自动扫描测量，测量完成后，旋转部分可以自动生成3D图像，测量员可以对3D图像的数据进行分析，得到被测器件的表面线、表面粗糙度和轮廓的2D和3D参数。

本发明具有测量精度高、操作方便、功能全面、测量参数覆盖范围广的优点。测量单个精密设备的过程不到2分钟，确保了高速检测。白光干涉仪独特的特殊光源模式，可广泛应用于各种精密器件表面从光滑到粗糙的测量。

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