真空传感器 原理，真空传感器结构_真空传感器的工作原理

真空传感器原理

真空传感器是一种用于测量气体压力的设备，它可以在高真空环境下工作，并且具有高精度和高灵敏度。本文将介绍真空传感器的原理及其应用。

热阴极电离真空计

热阴极电离真空计是一种常见的真空传感器，它利用电子轰击气体分子产生离子的原理来测量气体压力。当电子轰击气体分子时，会将分子离子化，形成正离子和负离子。这些离子会被电场吸引到电极上，产生电流信号。通过测量电流信号的大小，可以确定气体压力的大小。

热阴极电离真空计的优点是精度高、响应速度快、可靠性好。但是它也有一些缺点，比如需要加热阴极才能工作，因此功耗较大；同时，由于离子化过程中会产生电子，因此容易产生电磁干扰。

冷阴极离子化真空计

冷阴极离子化真空计是一种新型的真空传感器，它利用冷阴极产生电子的原理来测量气体压力。当电子从冷阴极发射出来时，会与气体分子碰撞，将分子离子化。这些离子会被电场吸引到电极上，产生电流信号。通过测量电流信号的大小，可以确定气体压力的大小。

冷阴极离子化真空计的优点是功耗低、响应速度快、抗干扰能力强。但是它也有一些缺点，比如精度不如热阴极电离真空计、易受气体成分影响。

真空传感器是一种重要的气体压力测量设备，它在高真空环境下工作，并且具有高精度和高灵敏度。本文介绍了两种常见的真空传感器原理：热阴极电离真空计和冷阴极离子化真空计。它们各有优缺点，可以根据实际需求选择合适的传感器。